光栅测量是一种普遍用于孔径测量的方法，它基于摩尔条纹实现对孔径的准确测量。在具体实现中，工程师需要将一个光源聚焦至样品上，形成其投影在探测器上的光斑，即“坊主”。
而使用光幕技术实现孔径测量的方法，通常是将光线穿过一个光栅或其他有着类似光学结构的元件（例如球形透镜或弯月形透镜），并观察其在后置检测器上产生的干涉条纹。
由于孔径的尺度通常比传统光栅的取样距离小许多，因此在孔洞测量过程中，通常会使用高灵敏度的、最小可调节的波长、强有力的探测器以及具有高精度的探测器来实现精确测量。
此外，需要将过程中的误差最小化，以保证测量结果的准确性。
